Concept information
Termine preferito
atomikerroskasvatus
Tipo
-
Yleiskäsite
Concetto più generale
Appartiene al gruppo
In altre lingue
-
inglese
-
svedese
-
ALD-metoden
-
ALD-teknik
-
atomlagerdeponering
URI
http://www.yso.fi/onto/yso/p27468
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